半導體式氣體傳感器是根據(jù)由金屬氧化物或金屬半導體氧化物材料制成的檢測元件，與氣體相互作用時產(chǎn)生表面吸附或反應，引起載流子運動為特征的電導率或伏安特性或表面電位變化而進**體濃度測量的。從作用機理上可分為表面控制型（采用氣體吸附于半導體表面而產(chǎn)生電導率變化的敏感元件）、表面電位型（采用半導體吸附氣體后產(chǎn)生表面電位或界面電位變化的氣體敏感元件）、體積控制型（基于半導體與氣體發(fā)生反應時體積發(fā)生變化，從而產(chǎn)生電導率變化的工作原理）等?？梢詸z測百分比濃度的可燃氣體，也可檢測ppm級的有毒有害氣體。具有結(jié)構(gòu)簡單、檢測靈敏度高、反應速度快等諸多實用性優(yōu)點，但其主要不足是測量線性范圍較小，受背景氣體干擾較大，易受環(huán)境溫度影響等。
